基本參數(shù)
| 機架 | 東信噴塑 |
| 腔體 | 進口316不銹鋼 |
| 真空泵 | 雙泵組合 |
| 角閥 | 北儀 |
| 流量控制器 | sevenstart |
| 真空顯示儀 | sevenstar |
| 電源匹配器 | 美國COMDEL |
| 射頻電源 | （13.56MHz） |
| PLC | 三菱 |
| 電氣系統(tǒng) | 施耐德 |
| 變頻器 | 三菱 |
| 觸摸屏 | 臺灣威綸 |
| 冷卻電極 | 水冷 |
| 真空顯示規(guī)管 | 寶睿 |
設備特點
腔體結(jié)構(gòu)說明：單軸電極設計，儲物腔利用電磁驅(qū)動原理，采用旋轉(zhuǎn)模式，這樣產(chǎn)品可在腔內(nèi)無序全方位接受等離子處理，非常適合小產(chǎn)品大批量的反應。
結(jié)構(gòu)對稱，功率損耗小，有效工作能量高；
空間利用率高，提高生產(chǎn)能力，增加產(chǎn)能；
設備運行過程不需要人員守候，運行完報警提示；
整機程序自動化，一個操作員即可；
氣體流量在觸摸屏設定、精確監(jiān)控顯示，節(jié)約氣源；
設備優(yōu)勢
等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經(jīng)在眾多領域廣泛使用。相比傳統(tǒng)的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV清洗等，具有很多優(yōu)點
處理溫度低。處理溫度可以低至30℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面無造成熱影響。
處理全程無污染，等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備，無產(chǎn)生任何污染，處理過程也無產(chǎn)生任何污染。可以與原有生產(chǎn)流水線搭配，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。
處理效果穩(wěn)定。等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗。
